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旭硝子 化合物Ｃ12Ａ７エレクトライドで非晶質膜 ターゲット材を量産

　旭硝子は２６日、細野秀雄東京工業大学教授の研究グループが開発した化合物「Ｃ１２Ａ７エレクトライド」を用いた均一な非晶質薄膜を開発、量産のために必要なスパッタリングターゲット材の工業化と商業生産を開始したと発表した。Ｃ１２Ａ７エレクトライドは、石灰とアルミナで構成される化合物Ｃ１２Ａ７の籠状骨格の酸素イオンを電子で交換した構造を持つ。同薄膜は大気中でも化学的に安定といった特徴を持っており、大型有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルの効率的量産への貢献を見込む。