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旭化成エンジ 半導体ナノインプリント用 精密ステージの開発加速

　旭化成エンジニアリングは次世代半導体露光技術に不可欠な精密ステージの開発を推進する。同装置はナノインプリント装置に組み込まれる重要な機構で、ＩｏＴ（モノのインターネット）に不可欠なセンサーを安価で大量に製造するプロセスに欠かせない技術。同社は研究開発用途に向けた装置開発を進める。２―３年後をめどに評価機を完成させ、ナノインプリントメーカーとの協業を検討する。また電子顕微鏡用途も狙っており、電子顕微鏡メーカーと共同で実証を進めている。