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2016年03月31日 前へ 前へ次へ 次へ

日本軽金属 アダマンタン酸クロライド工業化 量産製法を確立

 日本軽金属は、アダマンタン酸クロライド(ADOC)の工業化に成功した。アダマンタン誘導体は半導体などの製造工程で使用されるレジスト用のモノマーとして利用されている。次世代リソグラフィー技術として近年注目を浴びている極端紫外線リソグラフィ(EUV)向け製造工程など電子材料分野を中心に世界で年間数トン規模の需要が見込まれている。従来は困難だった量産ベースでの製造法を確立し、このほどサンプルワークを開始した。早期に年間数トン規模の販売を目指す。


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