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理想計測、ＳｉＣ半導体開発向けに小型熱衝撃試験機を開発

　理想計測（神奈川県川崎市高津区、臼井重徳社長）は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）半導体など従来の半導体に比べて発熱量の大きいパワーデバイスの研究開発向けに３５０度Ｃまでの熱負荷試験が行える熱衝撃試験機「ＣＨＳ３５０」を開発、このほど横浜国立大学向けに量産初号機を納入した。高温室と低温室を試験対象デバイスが行き来する「直接熱伝達式」構造を採用してシステムを小型化。加えて省スペース、低ランニングコストなど達成。ランニングコストは従来の試験機に比べ１０分の１にまで抑えた。