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旭化成せんい、極細繊維不織布フィルターを開発、レジストろ過などに展開

　旭化成せんいは、極細繊維不織布を用いた精密フィルターを開発した。メルトブロー製法を採用、捕集孔径が従来品の４分の１程度の０・５マイクロメートルで、従来の不織布では難しかったサブマイクロメートル領域において高いろ過精度を発揮するほか、低圧損・高寿命を実現した。レジスト、現像液、エッチング液といった各種有機溶剤のろ過のほか、化学的機械研磨（ＣＭＰ）スラリーなどの砥粒分級といった幅広い用途での利用が可能。同社は今後サンプルワークを進めながら、早期採用を目指していくとしている。