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野村マイクロ ノンケミカルの超純水システム開発

　野村マイクロ・サイエンスは、世界初となるノンケミカル超純水システムを開発した。半導体、液晶の製造用の超純水システムで必要な塩酸、カ性ソーダなどの化学薬品を使用せずに品質の高い超純水を供給できる。来年夏に稼働予定の韓国半導体大手の工場に採用された。これに合わせ11月には韓国の１００％出資子会社が新プロセスに供給するイオン交換樹脂の再生工場を完成し、技術サポートを開始した。