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ウシオ電機 ＥＵＶ光源事業を拡大 ＤＰＰ方式で３５０Ｗ

　ウシオ電機は、次々世代半導体リソグラフィー技術であるＥＵＶ（極紫外線）向け光源事業を拡大する。同技術実現の決め手は光源の高出力化であり、大手３社が競っている。同社はいち早く出力向上を図るため、関連会社を売却するなど経営資源の集中を進めており、２０１３年までに現在の数10倍に相当する３５０ワット出力光源を目指す。ＥＵＶリソグラフィーは15年以降、普及が本格化する見通しであり、光源市場も急速な拡大が見込まれている。