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高砂熱学など、電界放出型軟Ｘ線照射装置を開発
高砂熱学工業は１９日、鬼塚硝子、フューテックスの３社共同で電界放出電子源を利用した軟Ｘ線照射除電装置「ＦＥＳＸイオナイザ」を世界に先駆けて開発したと発表した。フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の大型化にともない製造工程で困難となっている静電気障害に対応するため、除電能力を業界トップクラス、従来比１０倍以上に高めた。ＦＰＤや高機能フィルム製造における歩留まり向上に寄与するもとのとして、メーカーや装置メーカーを対象に今春から試験販売を開始する。今夏をめどとする本格的な販売開始に向けて、月産３０台の量産体制を構築していく予定。新装置は、鬼塚硝子のガラス加工技術と電界放出型電子源製造技術、フューテックスの高圧電源設計製造技術により開発した。電子放出源として電界放出電子型電子源を用いることで、動作時の発熱量を従来のフィラメント方式に対して大幅に削減。除電性能は１．５メートルの場合、同社従来比１２倍、消費電力は約４分の１、耐衝撃性能も向上した。
