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旭有機材、半導体製造向け流体制御ユニットを量産
旭有機材工業は、流量計とバルブ、コントローラーを一体化した半導体製造装置向け流体制御の新製品「１ＢＯＸユニット」の量産体制を整える。国内外の大手半導体メーカーの本格採用を間近に控え、今期中に自動化試験設備を延岡工場（宮崎県）に導入し、出荷対応力を月間２００台規模とする。同社は、樹脂バルブなどの単品売りに加え、複数の部材を組み合わせたシステムとしての販売も強化する方針を打ち出しており、１ＢＯＸユニットをその中核商品の１つとして位置づけ、事業拡大に拍車をかけていく。同商品は、半導体製造装置向け精密樹脂バルブ「ダイマトリックス」をワンパッケージ化した流体制御ユニット。時間と人手を要するライン開発期間を大幅に削減できる。これまでも流量計とピンチバルブを一体化したシステムは展開していたが、さらにコントローラーも加えることで、一層の省力化やコンパクト化につなげた。
