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ＳＰＰテクノ ミニマルファブ用拡充

　ＳＰＰテクノロジーズは、「ミニマルファブ」用装置のラインアップ拡充を進める。すでに製品化した深掘り反応性イオンエッチング（Ｄ‐ＲＩＥ）、テトラエトキシシラン化学的気相合成（ＴＥＯＳ‐ＣＶＤ）に次いで、２０１５年内をめどにメタルエッチャーをラインアップに追加する。ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）などで高い需要がある装置をミニマルファブに展開し、関連分野全体の活性化につなげていく方針だ。