2014年12月の記事を読む
2014年11月の記事を読む
2014年10月の記事を読む
2014年9月の記事を読む
2014年8月の記事を読む
2014年7月の記事を読む
2014年6月の記事を読む
2014年5月の記事を読む
2014年4月の記事を読む
2014年3月の記事を読む
2014年2月の記事を読む
2014年1月の記事を読む
2013年12月の記事を読む
2013年11月の記事を読む
2013年10月の記事を読む
2013年9月の記事を読む
2013年8月の記事を読む
2013年7月の記事を読む
2013年6月の記事を読む
2013年5月の記事を読む
2013年4月の記事を読む
2013年3月の記事を読む
2013年2月の記事を読む
2013年1月の記事を読む
2012年12月の記事を読む
2012年11月の記事を読む
2012年10月の記事を読む
2012年9月の記事を読む
2012年8月の記事を読む
2012年7月の記事を読む
2012年6月の記事を読む
2012年5月の記事を読む
2012年4月の記事を読む
2012年3月の記事を読む
2012年2月の記事を読む
2012年1月の記事を読む
2011年12月の記事を読む
2011年11月の記事を読む
2011年10月の記事を読む
2011年9月の記事を読む
2011年8月の記事を読む
2011年7月の記事を読む
2011年6月の記事を読む
2011年5月の記事を読む
2011年4月の記事を読む
2011年3月の記事を読む
2011年2月の記事を読む
2011年1月の記事を読む
2010年12月の記事を読む

ＴＯＴＯ 高比剛性セラミックス材料開発 ＳｉＣにＳｉ含浸

ＴＯＴＯは半導体ウエハーの大型化をにらみ、高比剛性セラミックス「ＳｉＳｉＣ」を開発した。炭化ケイ素（ＳｉＣ）にシリコン（Ｓｉ）を含浸・焼結することで別部材をほぼ一体化し、大型の構造部材にできる。中空部材にすることも可能で、ＳｉＣの剛性を維持しながら高スループットにも対応する。同社では同材料の特性を生かし、半導体製造装置メーカーや検査装置メーカー、さらにフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造装置メーカーなどを対象に同材料を訴求していく方針。