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古河電工 電子線ホログラフィで化合物半導体解析

　古河電気工業は21日、ファインセラミックスセンター（ＪＦＣＣ）と共同で、電子線ホログラフィーを用いた化合物半導体中の不純物分布解析手法を確立したと発表した。同研究では、化合物半導体のｐｎ接合だけではなく、極めて微量な不純物濃度差を捉えることに世界で初めて成功している。