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2014年03月13日 前へ 前へ次へ 次へ

キヤノン 次世代露光機で巻き返し NIPなど3本柱

 キヤノンは次々世代半導体露光機で数割の世界シェアを目指す。先端露光機で出遅れた同社だが、ナノインプリント(NIP)と誘導自己組織化(DSA)という新リソグラフィー技術を駆使して最先端分野に参入する。年内にはNIP装置の試作ラインを設け、15年には出荷をはじめる。i線とKrF(フッ化クリプトン)、それにNIPの3本柱で露光事業を立て直す。


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