ニュースヘッドライン記事詳細

2013年04月11日 前へ 前へ次へ 次へ

日本曹達 ITOで新技術「3次元基板に均一成膜」

日本曹達ITO.jpg 日本曹達は、液晶ディスプレイや光学部品に用いられるインジウム・スズ酸化物(ITO)成膜の新技術を開発した。同社独自のパイロゾル法を発展させたもので、既存のスパッタ法などでは難しいとされる高アスペクト比の3次元構造基板にも均一に成膜することができる。新技術の開発にともない、千葉工場(千葉県市原市)でITO成膜の受託加工サービスを開始した。今後、配線の微細化が進む半導体など電子分野を中心に用途を開拓する。


Copyright(c)2010 The Chemical Daily Co., Ltd.