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ニコン 次世代半導体露光機で先手

　ニコンは業界に先駆けて次世代半導体露光機を事業化する。口径４５０ミリメートルウエハー対応のプロトタイプを２０１５年早々に出荷するもので、既存装置にくらべて大幅な生産性向上を図る。製品力の向上によって最先端の液浸露光機では世界シェア40％を目指す。