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2012年08月28日 前へ｜ 次へ
ＪＦＣＣ・トヨタ ＳｉＣ結晶、簡単な品質検査法開発
ファインセラミックスセンター（ＪＦＣＣ）は日、次世代パワーデバイスに用いる炭化ケイ素（ＳｉＣ）の結晶の新たな品質検査法を開発したと発表した。トヨタ自動車と共同で、結晶欠陥のある場所や種類、密度を簡単に見分けられる腐食ガスエッチング法を開発。この技術によって、ＳｉＣ材料の品質、装置の性能、寿命が向上し、さらなる低価格化が期待される。
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