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2011年12月26日 前へ| 次へ
ピコサン ALD需要を開拓
ALD(原子層堆積)装置の開発メーカーであるフィンランドのピコサンは、従来の半導体用途に加えて、太陽電池とマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)向けALD(原子層堆積)装置を開発、新規需要を開拓する。太陽電池においてはシリコン結晶系、薄膜系ともに変換効率向上効果が大きいとあって、「日本を含む多くの企業が訪れている」(ミナ・トイボラ プロジェクトマネージャー)という。