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2011年08月22日 前へ｜ 次へ
昭和電工 ＳｉＣエピ 来春めどに大口径化と生産能力増
昭和電工は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）エピタキシャル事業を拡大する。急増する産業機器やエコカー向けＳｉＣパワー半導体の需要に対応するもので、来春をめどに直径15センチメートルへの大口径化と生産能力の増強を図る。また、高度の信頼性が求められるエコカー向けとして、同社製品の特長である高平坦度でデバイスメーカーが高品質の酸化膜を積層しやすいという特性を生かし、結晶欠陥を大幅に抑えた高品質製品の開発を進めていく。
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