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昭和電工、電子産業向けフッ化カルボニル量産
昭和電工は１１日、電子産業向け特殊ガスである高純度フッ化カルボニル（ＣＯＦ２）を量産すると発表した。東長原事業所（福島県）に年産能力４００トンの製造設備を設置するもので、７月に完成させ年内にも出荷を開始する。ＣＯＦ２は地球温暖化係数が約１と、既存のエッチング用ガスに比べて環境負荷が大幅に低いことが特徴。大量に消費される液晶パネルのガラス基板向けを中心に供給する。２０１５年までに事業規模を十数億円に拡大する。ＣＯＦ２は、ガラス基板上に作られる酸化膜や窒化膜のエッチングやクリーニングに使う。代表的なエッチングガスである六フッ化硫黄（ＳＦ６）は温暖化係数が２万３９００なのに対し、ＣＯＦ２は約１と２万分の１以下。使用後の処理も簡単で、加水分解によりフッ化水素と二酸化炭素（ＣＯ２）となるだけ。ＳＦ６やクリーニングガスの三フッ化窒素（ＮＦ３）に比べて処理コスト面のメリットも大きい。
