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半導体プロセス微細化へ投資活発

　半導体プロセスの微細化に対応する動きが活発化している。回路線幅が20ナノメートル以下になる次世代プロセスでの量産には革新的な技術が必須なだけに、製造蔵置から薬剤まで開発競争が激しい。世界市場を席巻する電材業界には従来とは桁違いに高純度のプロセス材料が求められている。高い技術ハードルがそのままシェア拡大に結びつくだけに、微細化への取り組みは総力戦だ。