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テクノクオーツ 石英ガラスなどの反射率低減 表面処理技術を開発

　テクノクオーツは、石英ガラスやシリコンなどの表面の反射率を低く抑える表面処理技術を開発した。半導体や液晶ディスプレイを製造するための露光装置でウエハーを保持するための支持体への応用を進めており、ウエハーの大型化やパターンの微細化などへ対応が期待される。耐腐食性や耐摩耗性にも優れることから大幅なコスト低減にも貢献する。同社では半導体製造用などに販売開始しており、今後、高精細化が進む用途などへの販売を強化していく予定。