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2013年12月13日 前へ 前へ次へ 次へ

東京応化工業 生産性高める独自レジストを展開

 東京応化工業は生産性向上やコスト低減につながる独自レジストを広く展開する。スマートフォン用などに需要が急増しているCMOS(相補型金属酸化膜半導体)イメージセンサーの受光部形成向けには、高い透明度をもつKrF(フッ化クリプトン)レジストを製品化している。また微細プロセスを形成する2回/2重露光プロセスでは、ArF(フッ化アルゴン)レジストをコアにも用いて有機系材料だけでパターニングを可能としている。


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