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ＡＤＥＫＡ　電子部品用エッチング剤を拡充　微細加工対応のＰＺＴ用

　ＡＤＥＫＡは、電子部品用ウエットエッチング剤「アデカケルミカ」シリーズを拡充する。圧電素子に用いられるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）用やクロム用などの新製品を上市。ＰＺＴ用はスプレー処理で直線的に優れた形状が得られ、高い温度制御性を持つ。クロム用はセリウム不使用の特徴に加え、水晶振動子上の電極に最適な製品を追加した。フォトマスクリペア向けの遮光膜除去用途では、クロム系遮光膜に加えモリブデン系遮光膜に対応した製品を開発。位相マスクなどを視野に提案を進めていく。