2012年12月の記事を読む
2012年11月の記事を読む
2012年10月の記事を読む
2012年9月の記事を読む
2012年8月の記事を読む
2012年7月の記事を読む
2012年6月の記事を読む
2012年5月の記事を読む
2012年4月の記事を読む
2012年3月の記事を読む
2012年2月の記事を読む
2012年1月の記事を読む
2011年12月の記事を読む
2011年11月の記事を読む
2011年10月の記事を読む
2011年9月の記事を読む
2011年8月の記事を読む
2011年7月の記事を読む
2011年6月の記事を読む
2011年5月の記事を読む
2011年4月の記事を読む
2011年3月の記事を読む
2011年2月の記事を読む
2011年1月の記事を読む
2010年12月の記事を読む

信越ポリマー　ウエハーケース、低湿度維持タイプ開発

　信越ポリマーは、口径３００ミリメートルの半導体ウエハー用としてケース内を低湿度に保つ工程内搬送容器（写真）を開発した。材料自体が水分を放出するものと考え、ポリカーボネートから吸湿率の低い材料に変更。一般的な湿度環境に戻るまでの時間を従来品の２ー３倍延ばせるようにした。現在、顧客側の工程で性能評価が行われている。今後、微細化を追求するデバイスメーカーに対し、従来品からのシフトを提案していく。