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東洋炭素 超耐熱の黒鉛複合材開発

　東洋炭素は、次世代半導体基板の製造プロセスの過酷な高温環境下での使用に適する炭化タンタル（ＴａＣ）被覆黒鉛材「ＥＶＥＲＥＤＫＯＴＥ」を開発した。窒化ガリウム基板などの単結晶製造プロセスでは、２０００度Ｃ以上の高温が必要なうえに腐食性ガスを用いる。このような条件下で従来の黒鉛部材を使用すると短寿命になる。融点が約４０００度ＣのＴａＣを被覆した開発品は、内部の黒鉛基材を保護することで長寿命化を実現した。さらに、浸炭処理によってＴａ金属の表層部をＴａＣ化した複合材料も開発。ＥＶＥＲＥＤＫＯＴＥと同様、高温環境下で使用する炉内構造部品として需要を開拓する。