富士フイルム 高圧電定数のPZT薄膜材料を量産
富士フイルムは2012年内をめどに、米グループ企業の富士フイルムダイマティックスにおいて、ニオブを添加したPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜材料の量産を開始する。すでにサンプル供給を行っているが、高い圧電定数や分極工程が不要なことなどが評価され、引き合いが急増していることから量産に踏み切る。小型化、省エネ化に貢献する各種センサーやアクチュエーターへの採用を見込み、国内外の電子デバイスメーカーを対象として、まず6インチ(15センチメートル)ウエハーでの供給からスタートする予定。将来的には、開発を進めている8インチ(20センチメートル)ウエハーでの提供も視野に入れる。