ニュースヘッドライン記事詳細

2012年01月25日 前へ 前へ次へ 次へ

東京応化 先端レジストシェア30%超へ

 東京応化工業は、半導体向け先端レジストのシェア30%超を目指す。ArF(フッ化アルゴン)レジストが好調に推移しているが、2012年はArFのなかでも液浸タイプの構成比が70%に迫る見通し。一方で次世代EUV(極紫外線)リソグラフィーに移行するまでの「ブリッジ技術」として自己配線やナノインプリントへの取り組みも強化する。


Copyright(c)2010 The Chemical Daily Co., Ltd.