2011年12月の記事を読む
2011年11月の記事を読む
2011年10月の記事を読む
2011年9月の記事を読む
2011年8月の記事を読む
2011年7月の記事を読む
2011年6月の記事を読む
2011年5月の記事を読む
2011年4月の記事を読む
2011年3月の記事を読む
2011年2月の記事を読む
2011年1月の記事を読む
2010年12月の記事を読む

川惣電機　ウエハーモニター用熱電対の販売を強化

　川惣電機工業は、半導体ウエハーモニター用熱電対の用途展開を強化する。ウエハーの大口径化や多層化にともなう製造プロセス条件、半導体製造装置内の加熱源制御などが従来以上に重視されていることを背景として、シリコン以外の媒体にも熱電対を設置できる同社の保有技術を活用。今後半導体前工程での拡散や酸化、化学気相成長法（ＣＶＤ）などの工程での測定用途を対象に、同製品の販売を拡大していく方針だ。