関東電化 CF4 来年央めど増強
関東電化工業は、フッ素系特殊ガスの生産体制を相次ぎ増強する。まず三フッ化窒素(NF)の生産能力を2012年2月をめどに渋川工場(群馬県)で現状の年3000トンから同3500トンに拡大。これに続き四フッ化炭素(CF4)も同工場で増強する方針を固め、このほど増設工事に着手、12年6月を目標に従来比10%増となる同1100トンに引き上げる計画だ。こうした矢継ぎ早の増強により、半導体・液晶パネルのクリーニング用途に加え、今後の拡大が見込まれる太陽電池製造工程向けクリーニング需要に対応し、主力であるフッ素系製品の市場展開にさらなる弾みをつける。