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古河機械金属 ＧａＮ基板の事業展開を刷新
古河機械金属は、窒化ガリウム（ＧａＮ）基板の事業戦略を刷新する。２０１２年度に予定していた５センチメートル（２インチ）基板の量産プランを改め、数年後を目標としてコスト面で有利な１０センチメートル（４インチ）基板の量産をスタートする考え。ハイブリッド車（ＨＶ）や電気自動車（ＥＶ）などに利用されるパワーデバイス市場の立ち上がりが２０１４年以降と予測されることから、同用途で利用される１０センチメートル以上の高品質大型基板の開発に注力し、本格生産への移行を目指す。
古河機械金属は、ＧａＮ半導体の生産時に使用されるＧａＮ基板の製造において、従来法に比べ結晶欠陥の大幅な低下と基板の歪み低減を実現するｒーＦＩＥＬＯ法を開発した。同社はこの新製法などを活用し、今後成長が予測されるパワーデバイス用途をはじめとする各用途向けＧａＮ基板の量産へ向け、現在準備を進めている。
