スウェージロック 新型ダイヤフラム・バルブを開発
流体システム・コンポーネントを手掛ける米スウェージロックは、新しいアルミニウム製成形ハウジングを採用することで、コンパクト・高性能化を両立した半導体ウエハー製造用のスプリングレス・ダイヤフラム・バルブを開発した。半導体業界では高純度ガスの制御バルブについて近年、取り付け性やメンテナンス性向上のため、小型化ニーズが強い。新製品は独自技術を駆使し、業界初となる１・１２５インチ集積サイズの工業規格向けにデザインした。今後、世界市場に投入し、日本市場は日本スウェージロック（兵庫県西宮市）が販売していく。
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