2017年12月の記事を読む
2017年11月の記事を読む
2017年10月の記事を読む
2017年9月の記事を読む
2017年8月の記事を読む
2017年7月の記事を読む
2017年6月の記事を読む
2017年5月の記事を読む
2017年4月の記事を読む
2017年3月の記事を読む
2017年2月の記事を読む
2017年1月の記事を読む
2016年12月の記事を読む
2016年11月の記事を読む
2016年10月の記事を読む
2016年9月の記事を読む
2016年8月の記事を読む
2016年7月の記事を読む
2016年6月の記事を読む
2016年5月の記事を読む
2016年4月の記事を読む
2016年3月の記事を読む
2016年2月の記事を読む
2016年1月の記事を読む
2015年12月の記事を読む
2015年11月の記事を読む
2015年10月の記事を読む
2015年9月の記事を読む
2015年8月の記事を読む
2015年7月の記事を読む
2015年6月の記事を読む
2015年5月の記事を読む
2015年4月の記事を読む
2015年3月の記事を読む
2015年2月の記事を読む
2015年1月の記事を読む
2014年12月の記事を読む
2014年11月の記事を読む
2014年10月の記事を読む
2014年9月の記事を読む
2014年8月の記事を読む
2014年7月の記事を読む
2014年6月の記事を読む
2014年5月の記事を読む
2014年4月の記事を読む
2014年3月の記事を読む
2014年2月の記事を読む
2014年1月の記事を読む
2013年12月の記事を読む
2013年11月の記事を読む
2013年10月の記事を読む
2013年9月の記事を読む
2013年8月の記事を読む
2013年7月の記事を読む
2013年6月の記事を読む
2013年5月の記事を読む
2013年4月の記事を読む
2013年3月の記事を読む
2013年2月の記事を読む
2013年1月の記事を読む
2012年12月の記事を読む
2012年11月の記事を読む
2012年10月の記事を読む
2012年9月の記事を読む
2012年8月の記事を読む
2012年7月の記事を読む
2012年6月の記事を読む
2012年5月の記事を読む
2012年4月の記事を読む
2012年3月の記事を読む
2012年2月の記事を読む
2012年1月の記事を読む
2011年12月の記事を読む
2011年11月の記事を読む
2011年10月の記事を読む
2011年9月の記事を読む
2011年8月の記事を読む
2011年7月の記事を読む
2011年6月の記事を読む
2011年5月の記事を読む
2011年4月の記事を読む
2011年3月の記事を読む
2011年2月の記事を読む
2011年1月の記事を読む
2010年12月の記事を読む

日本発の半導体製造技術　「ミニマルファブ」普及へ

　産業技術総合研究所が開発した日本独自の超小口径（１／２型）シリコンウエハーを使う半導体製造システム「ミニマルファブ」が普及へ向けて新たなスタートを切った。試作や少量生産ニーズに特化した同システムの特徴を活かし、企業や大学などの潜在需要を開拓する。専用の半導体露光機の開発や設計を容易にするソフトウエアの供給など、使用環境の整備を進めているところだ。新たなプロセスだけに課題山積だが、成否は日本のモノづくり力にかかっている。

【写真説明】デモには常に人だかりができるなど企業の関心は高い（セミコン・ジャパン会場）